陽江新款晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。
背景技術(shù):
在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機械手。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。
所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。陽江新款晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家
控制策略對柔性機械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對結(jié)構(gòu)剛體運動的影響。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運動的比較大角速度為。2)前饋補償法。將機械臂柔性變形形成的機械振動看成是對剛性運動的確定性干擾而采用前饋補償?shù)霓k法來抵消這種干擾。德國的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關(guān)節(jié)的工業(yè)機器人的前饋控制。張鐵民研究了基于利用增加零點來消除系統(tǒng)的主導(dǎo)極點和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設(shè)計了具有時間延時的前饋控制器和PID控制器比較起來可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動。SeeringWarrenP。等學者對前饋補償技術(shù)進行了深入的研究。安徽銷售晶圓運送機械吸臂什么價格各支承、連接件的剛性也要有一定的要求,以保證能承受所需要的驅(qū)動力。
可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。
單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。
適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運。
機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP(210mm臂長)
或者3個FOUP(280mm臂長)雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化
能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
多功能一體化機械臂,包括機械臂主體,所述機械臂主體由設(shè)置在該機械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,該種多功能一體化機械臂,改進了原有產(chǎn)品的缺點,本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅(qū)動充足的特點,本機械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的,實現(xiàn)了占地面積小的特點,且在生產(chǎn)過程中由于體積較小,廠家生產(chǎn)成本費較低,同時工人在使用時,移動較為方便,設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,實現(xiàn)了本新型機械臂驅(qū)動充足的特點,在使用過程中完全依靠程序芯片控制,液壓器液壓精細不會單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用。
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記,提高了晶圓的合格率。手臂的運動速度要適當,慣性要小.蘇州銷售晶圓運送機械吸臂批發(fā)零售價
手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時動作的平穩(wěn)性、運動的速度和定位精度。陽江新款晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家
場景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán),場景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大,而如果一款技術(shù)誕生沒有實際的應(yīng)用場景,即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。
機械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢?它的應(yīng)用特點十分明顯,主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動作。如果工作場景符合上述兩個特點,機械手臂都可以得到應(yīng)用。
機械手臂應(yīng)用場景多在制造業(yè),有重工業(yè)屬性,如金屬加工、拋光打磨、裝配、機床上下料、碼垛/搬運、橡膠/塑料、分揀等。陽江新款晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家
深圳市德澳美精密制造有限公司擁有很好的服務(wù)與產(chǎn)品,不斷地受到新老用戶及業(yè)內(nèi)人士的肯定和信任。我們公司是全網(wǎng)商盟認證會員,點擊頁面的商盟客服圖標,可以直接與我們客服人員對話,愿我們今后的合作愉快!
本文來自聊城冠宇客運有限責任公司:http://sxib.cn/Article/33b81699150.html
實用倉庫控制系統(tǒng)應(yīng)用
倉庫控制系統(tǒng)的盤點管理優(yōu)點和調(diào)撥管理優(yōu)點:1.倉庫控制系統(tǒng)可以幫助企業(yè)實現(xiàn)盤點管理的自動化和智能化。它可以實時監(jiān)控庫存數(shù)量和變化,提供多種盤點報表和分析功能,幫助企業(yè)進行盤點管理的決策和優(yōu)化。它可以提 。
電流互感器退磁檢查電流互感器在電流突然下降的情況下,互感器鐵芯可能產(chǎn)生剩磁。如電流互感器在大電流情況下突然切斷電源、二次繞組突然開路等。互感器鐵芯有剩磁,使鐵芯磁導(dǎo)率下降,影響互感器性能。長期使用后的 。
無論是白天還是夜晚,泛光照明都可以根據(jù)環(huán)境的不同,提供合適的照明效果。長壽命與可維護性: LED光源的長壽命減少了更換和維護的頻率,降低了使用成本。未來發(fā)展: 隨著技術(shù)的不斷創(chuàng)新,泛光照明施工將不斷發(fā) 。
RFID層架標簽可以用于提高工作效率和管理水平。以下是一些可能的方法:1. 自動化庫存管理:通過在每層貨架上使用RFID標簽,可以輕松跟蹤和監(jiān)控庫存。系統(tǒng)可以實時更新庫存數(shù)量,避免人為錯誤,并確保正確 。
人的兩只眼睛有一定距離,所以人兩眼同時看物體時視線總會形成一個夾角:在沒有其他參照物和線索提示的情況下,人眼會簡單的根據(jù)這個來判斷遠近。比如在一張白紙上畫兩個藍色的圈,讓它們正好分別在兩只眼睛的視線通 。
營銷是企業(yè)運營的關(guān)鍵項,它不只是一種推銷手段,更是一種企業(yè)意識形態(tài)的體現(xiàn)。在當今競爭激烈的市場環(huán)境中,營銷的針對性和適應(yīng)性成為了企業(yè)成功的關(guān)鍵因素。為了幫助企業(yè)更好地應(yīng)對市場挑戰(zhàn),掌聲智能營銷利用大數(shù) 。
作用:切割定子旋轉(zhuǎn)磁場產(chǎn)生感應(yīng)電動勢及電流,并形成電磁轉(zhuǎn)矩而使電動機旋轉(zhuǎn)。構(gòu)造:分為鼠籠式轉(zhuǎn)子和繞線式轉(zhuǎn)子。1)鼠籠式轉(zhuǎn)子:轉(zhuǎn)子繞組由插入轉(zhuǎn)子槽中的多根導(dǎo)條和兩個環(huán)行的端環(huán)組成。若去掉轉(zhuǎn)子鐵心,整個繞 。
消防警鈴是消防報警系統(tǒng)的一部分,主要在火災(zāi)發(fā)生時,用于發(fā)出緊急報警信號。它通常與消防報警控制器聯(lián)動型)聯(lián)動,當有火災(zāi)報警信號時,消防警鈴會發(fā)出持續(xù)的報警聲。在火災(zāi)發(fā)生時,消防警鈴的位置非常重要,必須確 。
在傳統(tǒng)的四合院建筑設(shè)計中,防火和滅火設(shè)施并不是主要考慮因素,因為這些建筑通常建于過去的時期,當時對于防火安全的認識和技術(shù)并不現(xiàn)在天發(fā)達。然而,隨著時間的推移和社會發(fā)展,一些現(xiàn)代化的四合院改建項目或新建 。
福州大愚企業(yè)管理有限公司是一家專注于saas營銷軟件、短視頻營銷的企業(yè),我們致力于為客戶提供高質(zhì)量的短視頻制作和營銷服務(wù)。我們的產(chǎn)品具有獨特的優(yōu)勢和特點,能夠幫助客戶在競爭激烈的市場中脫穎而出。我們的 。
德微電智能斷路器助力廣州老舊小區(qū),為居民營造安全的幸福生活環(huán)境。傳統(tǒng)老舊小區(qū)場景用電痛點:1、違規(guī)使用熱得快、電磁爐、電暖器等超大功率電器2、住戶人員意外觸電傷害3、用電線路無故障預(yù)警,除了問題現(xiàn)場排 。